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DQX-206N等離子清洗機
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詳細參數
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等離子清洗機是利用等離子體中活性組分的性質來處理樣品表面，從而實現清潔、涂覆等目的的機器。
未找到相應參數組，請于后臺屬性模板中添加
功能說明：
清洗功能：清洗管殼、框架、玻璃、芯片等產品。
保護功能：工作氣體耗盡報警、 壓縮空氣壓力低于設定值報警、反應倉泄露率過大報警、 控制面板處設急停按鈕等。
顯示功能：工藝參數顯示；運行時間顯示；工藝過程實時監視并顯示運行狀態，如泵的運行、射頻電源、質量流量等；故障報警，提示故障項目。
主要技術指標：
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反應倉尺寸 |
不銹鋼 L500 ×W500 ×H400（mm） |
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等離子體頻率 |
13.56MHz |
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射頻電源功率 |
（0～600）W可調 |
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控制方式 |
PLC+觸摸屏 |
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工藝氣體流量 |
(0～200)ml/min （標準氣壓,0℃） |
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清洗時間控制 |
1秒～120分鐘連續可調 |
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基礎壓力設定范圍 |
（10～50）Pa |
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參數配方顯示 |
觸摸屏顯示可設定50組 |
微電子裝備事業部
聯系電話：13513635749（康先生）
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